Vakuumning vertikal kichik magnitron chuvali qoplama liniyasi - bu eng yuqori - yuqori - yuqori} yuqori malakali plyonkada ixcham makonda yuqori darajada erishadigan zamonaviy uskunalardir. Bu, ayniqsa, R & D, kichik va o'rta {{2} {{2} {{2} {{2} - qo'shimcha mahsulotlar uchun juda mos keladi.
Arizalar:
Nikel va mis, keramika va tekis mahsulotlar yuzasida nikel va mis kabi metall plyonkalar.
Xususiyatlari:
Vertikal tuzilma
Yuqori kosmik foydalanish:
Palata, Vakuum tizimi, uzatish mexanizmi va boshqalar. Bu, ayniqsa, liniyalar yoki cheklangan makonga ega laboratoriyalar yoki kichik ustaxonalar uchun mos bo'lgan gorizontal uskunalardan ancha kichikdir.
Kam zarralar ifloslanishi
Jarrohlik jarayonida hosil bo'lgan zarrachalar, pastki qismga tushish ehtimoli kamroq va tozalangan filmga ega bo'lishiga yordam beradigan substrat yuzasiga rioya qilish ehtimoli kamroq bo'lishi mumkinligini osonlashtiradi.
Moslashuvchan substrat yuklanishi:
Odatda osilgan savat, patnis yoki aylanadigan substrat ustun ishlatiladi, bu bir vaqtning o'zida bir nechta bo'lak yoki bir xil qoplamalarning bir vaqtning o'zida qoplamaga erishishni osonlashtiradi.
Nisbatan qulay parvarishlash:
Asosiy tarkibiy qismlar (masalan, nishon, substrat toklari) odatda old yoki yondan saqlanishi mumkin.
Miniatsionizatsiya
Sarmoyaviy qiymati:
Uskunalarni sotib olish, o'rnatish, o'rnatish va o'simliklarni rekonstruktsiya qilish qiymati (toza xonalar, elektr va suvni sovutish) katta sanoat liniyalariga qaraganda ancha past.
Operatsion xarajatlar:
Tez vaqt varaqasi (kichik xonalar hajmi), gaz iste'moli va elektr energiyasini kam iste'mol qilish.
Yuqori moslashuvchanlik:
Maqsadli materialni almashtirish, jarayon parametrlarini rostlash va boshqa qoplama vazifalarini tezda o'zgartirishi juda oson. Bu ko'p - xilma-xilligi, kichik partiyaviy ishlab chiqarish yoki ilmiy-tadqiqot ishlab chiqarish uchun juda mos keladi.
Birlashtirish va yangilash oson:
U mavjud tajriba liniyalariga yoki kichik ishlab chiqarish muhitiga osongina birlashtirish mumkin va funktsiyalarni kengaytirish osonroq.
Magnitron dumbine texnologiyasi
Yuqori cho'kma darajasi:
Magnit maydoni elektronni bog'laydi va ionizatsiyaning samaradorligini oshiradi, natijada yuqori dumbin va cho'kma stavkalarga olib keladi.
Yaxshi film sifati:
U zich, forma va yuqori darajada yopishqoq metall plyonkalarini, qotishma, oksidlar, nitridlar, karbinlar va boshqalarni ishlab chiqarishi mumkin.
Yaxshi jarayonni boshqarish:
Gaz bosimi, elektr energiyasi, gaz nisbati, substrat tarafkashligi, tarkibi, qalinligi va ishlashi kabi parametrlar bilan belgilanadi.
Vakuum qoplamasi
Sof muhit:
Atmosfera ifloslanishidan qochish va filmning tozaligi va ishlashini ta'minlash uchun yuqori vakuum muhitida amalga oshiriladi.
Amaliy qo'llaniladigan materiallar: deyarli barcha qattiq materiallar (metallar, yarimo'tkazgichlar, keramika, plastmassa va boshqalar) nishon yoki substratlar sifatida ishlatilishi mumkin.
Issiq teglar: Xitoyda vertikal magniton vertikal magniton chumirmaydigan qoplama liniyasi, Xitoy vertikal magnitoni ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar, zavod
