Vakuum qoplama mashinalarining asosiy tasnifi

Ikkita asosiy toifa mavjud: bug'lanish depozitsiyasi va terilarni ko'paytirish, shu jumladan vakuumli qoplamalar, shu jumladan vakuumli bug'lanish, MBE moleksuvi epitaxy, Sol usuli, Sol usuli va boshqalar kiradi.
1. Bug'ilma qoplama uchun:
Umuman olganda, maqsadli materiallar atom guruhlari yoki ionlari ko'rinishidagi sirt tarkibiy qismlarini bug'lash uchun isitiladi.
Qalinlik bir xilligi asosan quyidagilarga bog'liq:
1. Substrat materiallari va maqsadli material o'rtasidagi panjara
2. Substrat sirt harorati
3. Bug'lanish kuchi, stavka
4. Vakuum darajasi
5. Qoralash vaqti, qalinlik hajmi.
Komponent bir xilligi:
Bug'lanish qoplamining komponent bir xilligi kafolatlash oson emas. Ro'yxatdan o'tish mumkin bo'lgan aniq omillar yuqoridagi kabi bir xil. Biroq, - yagona komponent qoplamalari uchun printsipni cheklash tufayli, bug'lanish qopqog'ining bir xilligi yaxshi emas.
Kristal yo'nalishi bir xilligi:
1. Panjara mos keladigan daraja darajasi
2. Substrat harorati
3. Yoqish darajasi
Shisha qoplamalarini ko'p turlarga bo'lish mumkin. Umuman olganda, bug'lanish qopqog'idan farq - bu dumbinatsiya stavkasi asosiy parametrlardan biriga aylanadi.
O'tkir qoplamada pld Component bir xilligini saqlash oson, ammo atom shkalasi bir xilligini saqlash oson, ammo bu kristall yo'nalishi (tashqi terim) o'sishi ham nisbatan umumiydir.