1. Vakuum kamerasi
Vakuum kamerasi - bu vakuum qopqog'ining yadro qismi. Uning asosiy vazifasi - bu vakuum muhitini yaratish va qoplama jarayonini vakuumli holatda saqlash. Vakuum kamerasi odatda zanglamaydigan po'latdan yasalgan yoki alyuminiy qotishmalaridan yasalgan, vakuum muhrlash va korroziya qarshiligi bilan.
2. Nasos tizimi
Nasos tizimi vakuum qoplama mashinasining asosiy tarkibiy qismlaridan biridir. Vakuum darajasini ishlab chiqarish uchun vakuum kamerasida gaz qazib olish uchun javobgardir. Nasos tizimi odatda molekulyar nasoslar, mexanik nasoslar va diffuziya nasoslaridan iborat. Turli xil nasos kombinatlari turli xil vakuum va nasos tezligiga erishishi mumkin.
3. Substrat qisqichbaqasi
Substratli qisqichbaqalar qurilmasi vakuum qoplama mashinasining yana bir muhim tarkibiy qismidir. U substrat materialini yopish va uning pozitsiyasini va harakati traektoriyasini boshqarish uchun ishlatiladi. Substratli siqilish moslamasi odatda aylanadigan jadval, ko'taruvchi mexanizm va substrat qisqichlaridan iborat. Turli xil qisqichlar turli xil shakllar va o'lchamdagi substratlarga moslashishi mumkin.
4. Isitish tizimi
Isitish tizimi vakuum qoplama mashinasida zarur bo'lgan komponent. Bu substrat va qoplamali materialni qoplash va uning sifatini oshirish uchun substrat va qoplama materialini isitish mumkin. Isitish tizimi odatda qarshilik simlari, elektromagnit isitish, isitish isitish va boshqa usullar bilan amalga oshiriladi.
5. Qoplama manbai
Qoplov manbai - bu vakuum qoplama mashinasida oxirgi komponent. U birlashtirilgan materialni, odatda metallar, keramika, kremniy va boshqa materiallar bilan ta'minlash uchun foydalaniladi. Qal'a manbai materialni substratga, bug'lanish, terilash va kerakli qoplamani shakllantirish uchun boshqa elektron nurlar, tergov, tupurish va boshqa usullar bilan substratga kiritishi mumkin.
Xulosa: vakuum qoplama mashinasi vakuum kamerasi, pastki kamera, substratli siqilish moslamasi, isitish tizimi va qoplama manbai uning asosiy tarkibiy qismlari bo'lgan. Ushbu komponentlar korpusni tayyorlash jarayonini yakunlash uchun birgalikda ishlaydi.
