Hozirgi vaqtda vakuumli qoplama mashinalarida yupqa plyonkalarni kuzatishning ko'plab usullari mavjud, xususan: vizual monitoring, qattiq (ekstremal) qiymat monitoringi, kristall tebranish monitoringi va vaqt monitoringi. Ushbu maqolada birinchi navbatda uchta usul taqdim etiladi: vizual monitoring, qattiq (ekstremal) qiymat monitoringi va kristall tebranish monitoringi. Vizual monitoring, shuningdek, bevosita monitoring sifatida ham tanilgan, filmni kuzatish uchun ko'zlardan foydalanadi. Kino o'sish jarayonida interferentsiya hodisalari rang o'zgarishiga olib keladi va biz ushbu rang o'zgarishlari asosida plyonka qalinligini nazorat qilamiz. Bu usul ma'lum darajada xatolikka ega va juda aniq emas, tajriba talab qiladi.
Ruxsat etilgan-qiymat (ekstremal{1}}qiymat) monitoringi: Bu asosan aks ettiruvchi (uzatuvchi) optik monitoringdan foydalanadi. Ekstremal{3}}qiymatni kuzatish usuli: plyonka qalinligi oshgani sayin uning aks ettirish va o‘tkazuvchanligi mos ravishda o‘zgaradi. Ko'zgu yoki o'tkazuvchanlik ekstremal nuqtaga yetganda, qoplamaning ND optik qalinligi monitoring to'lqin uzunligining (l)-to'rtdan biriga butun son ko'paytmasi sifatida aniqlanishi mumkin. Biroq, ekstremal qiymat usuli nisbatan katta xatolikka ega, chunki aks ettirish yoki o'tkazuvchanlik ekstremal qiymatga yaqin juda sekin o'zgaradi; ya'ni R / T faqat plyonka qalinligi SHda sezilarli o'sishdan keyin o'zgaradi. Eng sezgir joy-to'lqin uzunligining sakkizdan birida. Ruxsat etilgan-qiymat monitoringi usuli: Bu usul qoplamaning toʻxtash nuqtasi monitoring toʻlqin uzunligining toʻrtdan birida- boʻlmasligidan foydalanadi. Shundan so'ng, kompyuter qoplamaning to'xtash nuqtasi bo'lgan 1 to'lqin uzunligida umumiy plyonka qalinligining aks ettirish qobiliyatini (yoki o'tkazuvchanligini) hisoblab chiqadi. Kristal tebranish monitoringi: kristall tebranishning ishlash printsipi kvarts kristalining tebranish chastotasi uning massasiga teskari proportsional bo'lgan printsipga asoslanadi. Biroq, kvarts monitoringining bir kamchiliklari shundaki, plyonka qalinligi ma'lum darajaga ko'tarilganda, tebranish chastotasi kvartsning o'ziga xos xususiyatlari tufayli qalinligi bilan to'liq chiziqli bog'liq emas. Bunday holda, yangi kvarts osilatoridan foydalanish kerak.
Bir nechta monitoring usullarining har biri o'zining afzalliklari va kamchiliklariga ega, ammo ko'p qatlamli qoplamalar uchun optik monitoring odatda kvarts kristalining tebranishi bilan to'ldirilgan asosiy usul hisoblanadi. Bundan tashqari, qoplama paytida gazni quyish kerak bo'lgan ba'zi jarayonlar uchun oqim o'lchagichlari yoki bosim o'lchagichlari kerak bo'lib, ular nazorat qilish uchun aniq klapanlar va fotoelektrik sezgir tizimlarni talab qiladi. Vakuumli qoplama mashinalari, shuningdek, aylanishni boshqarish tizimini talab qiladi, bu erda soyabonning asosiy mili rulman ichiga joylashtirilgan va soyabonni aylantirish uchun vosita podshipnikni boshqaradi. Keyin aylanish tezligi PLC tomonidan boshqariladi. Tigelning aylanishi dvigatel tomonidan boshqariladi va fotoelektrik induksiyani hisoblashdan foydalanadi, ekranlash plitasi esa pnevmatik kalit yordamida aylanadi. Nasos tezligini tezlashtirish va ma'lum vakuum darajasiga erishish uchun vakuum kamerasini sovutish, ichidagi havoni - 130 daraja Selsiygacha muzlatish va suv bug'ini muzlatish va olib tashlash kerak. Elektr boshqaruv bo'limi asosan PLC avtomatik boshqaruvini qabul qiladi. Oldindan ishlab chiqilgan dastur{10}}dastavval PLC ga kiritiladi va protsessorning asosiy sxemasi operatsion paneldagi har bir yuksiz tizimga ulanadi. Operatsion paneldagi kalit bosilganda ma'lumotlar markaziy protsessorga uzatiladi, so'ngra markaziy boshqaruv tizimi tahlil qiladi va harakatni bajarish va bajarish uchun filial sxemalariga ko'rsatmalar beradi.
Vakuumli qoplama mashinalari bir nechta fanlarni birlashtirgan qurilmalardir. Ular eng ilg'or elektromexanik texnologiyalarni, boshqaruv texnologiyalarini, elektr avtomatlashtirishni, IT texnologiyalarini, sovutish texnologiyalarini, mikrosxemalarni integratsiyalashgan tizimlarini, yuqori kuchlanishni boshqarish tizimlarini, mexanik texnologiyalarni, qayta ishlash texnologiyalarini, optoelektronik texnologiyalarni, optik texnologiyalarni, pnevmatik boshqaruv texnologiyalarini, optoelektronik zondlash texnologiyalarini, kommunikatsiya texnologiyalari va kommunikatsion texnologiyalarni o'z ichiga oladi. texnologiyalar va boshqalar. Vakuumli qoplama mashinalari rivojlanayotgan tarmoqlarning vakili deb hisoblanishi mumkin. Bugungi kunda vakuumli qoplama mashinalari, ayniqsa, yupqa plyonkalar ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi. Ishlab chiqarilgan turli xil yupqa plyonkalar turli xil optoelektronik tizimlar va optik asboblarda, masalan, raqamli kameralar, raqamli videokameralar, teleskoplar, proyektorlar, energiyani boshqarish, optik aloqa, displey texnologiyasi, interferometrlar, sun'iy yo'ldoshlar va raketalar, yarim o'tkazgich lazerlari, mikroelektromexanik tizimlar, axborot sanoati, yorug'lik sanoati, turli xil filtrlar, yorug'lik sanoati, sensorlar, yorug'lik sanoatida qo'llaniladi. me'moriy shisha, avtomobil sanoati, bezak buyumlari, tangalar, ko'zoynak linzalari va boshqalar. Qoplama mashinalari inson hayotiga chambarchas integratsiyalashgan.
