Vakuum qoplama mashinasiga kirish

Kimulyatsiya qilinadigan substrat substrat deyiladi va kamar bo'lishi kerak bo'lgan material nishonga aylanadi. Substrat va maqsad bir xil vakuum kamerasida.
Bug'lanish qoplamasi odatda maqsad qismlarini, sirt tarkibiy qismlari atom guruhlari yoki ionlar shaklida bug'lanadi. Va u substrat yuzasiga joylashadi va film shakllantirish jarayonida ingichka plyonka shakllantiradi (tarqoq ballar - orol tuzilishi - Qatlamdagi qatlamli o'sish). Cho'kayotgan qoplama uchun, bu maqsadni elektron yoki yuqori} yuqori lazerlar bilan bombardimon qilish va oxir-oqibat substrat tarkibiga plyonkalarni yig'ib, oxir-oqibat ingichka plyonka olib boradigan substrat yuzasini siqib chiqaradi.