Magnitronli vakuumli qoplama mashinalarida qoplanadigan material substrat deb ataladi va qoplanadigan material maqsad deb ataladi. Substrat ham, maqsad ham vakuum kamerasida joylashgan. Bug'lanish qoplamasi odatda atom klasterlari yoki ionlari shaklida sirt komponentlarini bug'lantirish uchun nishonni isitishni o'z ichiga oladi. Bu bug'langan komponentlar keyinchalik substrat yuzasiga cho'kadi va plyonka-hosil qilish jarayoni (tarqalgan{4}}orol tuzilishi-aylanib yuruvchi tuzilma-qatlam o'sishi) orqali yupqa plyonka hosil qiladi.
Qoplamalarni purkash uchun buni oddiygina maqsadni bombardimon qilish uchun elektronlar yoki yuqori energiyali lazerlardan foydalanish, sirt komponentlarini atom klasterlari yoki ionlariga sochish, so‘ngra ular substrat yuzasiga cho‘klanib,-plenka hosil qilish jarayonidan o‘tib, natijada yupqa plyonka hosil qilish deb tushunish mumkin.
Operatsion tartib-qoidalari: Boshqaruv kabinetining ishlashi
1. Suv nasosini va havo ta'minotini yoqing.
2. Asosiy quvvat manbaini yoqing.
3. Tutuvchi nasos va vakuum o'lchagichga quvvatni yoqing. Vakuum o'lchagichni V1 holatiga o'rnating va keyingi bosqichga o'tishdan oldin qiymat 10 dan kam bo'lguncha kuting. Bu taxminan 5 daqiqa davom etadi.
4. Oldindan evakuatsiya qilish uchun-mexanik nasosni yoqing. Turbomolekulyar nasosni yoqing va uni ishga tushiring. Vakuum o'lchagichni V2 ga o'tkazing va qiymat 2 dan kam bo'lguncha evakuatsiya qiling. Bu taxminan 20 daqiqa davom etadi.
5. Turbomolekulyar nasos ko'rsatkichi 250 ga yetgandan so'ng, oldingi evakuatsiyani-o'chiring. Evakuatsiyani davom ettirish uchun oldingi nasos va yuqori vakuumli vanani yoqing. Faqat ma'lum bir vakuum darajasiga erishganingizdan so'ng, o'ngdagi yuqori vakuum o'lchagichni yoqib, vakuum darajasini kuzatishingiz mumkin. Elektron qurol quvvatini faqat vakuum 2 × 10⁻³ ga etganidan keyin yoqish mumkin.
DEF-6B ishlashi:
1. Asosiy quvvat.
2. Elektron qurolni boshqarish I va elektron qurolni boshqarish IIni bir vaqtda yoqing: Elektron qurolni boshqarish I uchun quvvat va kechikish tugmachasini bosing. Kechikish, quvvat va himoya chiroqlari yonadi. Uch daqiqadan so'ng, kechiktirish va himoya chiroqlari o'chadi. Orqa eshik to'g'ri yopilmagan bo'lsa yoki suv oqimi rölesi noto'g'ri ishlasa, himoya chirog'i yoniq qoladi.
3. Yuqori kuchlanishni yoqing. Yuqori kuchlanish 10KV dan oshadi. Nur oqimini taxminan 200 mA ga sozlang. Ekran panjarasi 20V / 100mA, filament oqimi 1,2A va burilish oqimi 1 va 1,7A orasida o'zgarib turadi.
