Mamlakatimning vakuumli qoplama sanoatida joriy ilovalar birinchi navbatda bezakka qaratilgan. Biroq, dekorativ qoplama asta-sekin aşınma qarshilik va estetik jozibadorlikni birlashtirgan modelga qarab rivojlanmoqda, bu vakuumli qoplama uskunalarini ishlab chiqarishning texnologik darajasini oshirish va vakuum ionli qoplama texnologiyasini rivojlantirish uchun juda ijobiy rivojlanishdir.
Bundan tashqari, tayyorlangan eskirishga chidamli va ishqalanishni kamaytiradigan-plenkaning boshqa asosiy komponentlarga qoʻllanilishi energiyani tejash va samaradorlikni oshirishda juda yaxshi namunali rol oʻynadi. Asl elektrokaplama jarayonining bir qismini almashtirishi mumkin va atrof-muhitni muhofaza qilishda juda yaxshi rol o'ynaydi.
Hozirgi vaqtda ko'pgina mexanik funktsional qattiq yupqa plyonkalar (ayniqsa, kesish asboblari uchun) xalqaro miqyosda katodik yoy cho'kmasidan (SAPR) foydalanadi. Biroq, SAPR bilan bog'liq asosiy texnik muammo - bu plyonka yuzasining silliqligi va ko'plab zarrachalarning mavjudligi, bu dastur samaradorligiga ta'sir qiladi. Ushbu zarracha muammosi, ayniqsa, mahalliy ishlab chiqarilgan SAPR uskunalari bilan og'ir. Magnit filtrlash texnologiyasini joriy etish zarrachalar muammosini hal qilishi mumkin bo'lsa-da, cho'kma samaradorligi asl nusxaning atigi 1/10 qismini tashkil etadi va cho'kma maydoni kichik bo'lib, uzoq ishlab chiqarish davrlariga, yuqori ishlab chiqarish xarajatlariga va ommaviy ishlab chiqarish uchun yaroqsizligiga olib keladi. Bundan farqli o'laroq, magnetronli püskürtme texnologiyasi silliq, nozik yuzalar, o'rtacha cho'kish tezligi va yupqa plyonkalarni katta maydonlarda bir xilda joylashtirish qobiliyatiga ega bo'lgan plyonkalarni ishlab chiqaradi.
Shu bilan birga, magnetronli püskürtme texnologiyasining kamchiliklari ham bor, masalan, past ionlanish darajasi (odatda taxminan 10%), buning natijasida qattiqlik, aşınma qarshilik va yopishqoqlik jihatidan katod yoyi bilan tayyorlangan plyonkalardan past bo'ladi. Kimyoviy reaktiv qoplamalarni (masalan, TiN va TiO2) amalga oshirishda metall zarralarining past ionlanish tezligi va zaif reaktivligi magnetronning maqsadli yuzasini zaharlashi mumkin bo'lgan haddan tashqari reaktiv gazlarni kiritishni talab qiladi (kimyoviy reaksiya), bug'lanish tezligining keskin pasayishi kabi bir qator ko'chkiga o'xshash oqibatlarga olib keladi. Bu magnetronli püskürtmeli reaktiv qoplamalarni beqaror va boshqarib bo'lmaydigan qiladi.
Shuning uchun bozorda ko'p funktsiyali ion vakuumli qoplama mashinalari paydo bo'ldi. Keng qamrovli sinov va sanoat qo'llanilishi orqali ushbu loyiha quyidagi xulosalarga keldi:
(1) Bir nechta qoplama texnologiyalarini birlashtirgan ishlab chiqilgan ko'p funktsiyali ion qoplama mashinasi muvaffaqiyatli bo'lib, o'rnatilgan qoplama tizimining umumiy ishlashi Xitoyda etakchi hisoblanadi.
(2) Ushbu uskuna katta -maydonli, arzon{2}}xarajatli, silliq, zich va yuqori-mahsulotli olmos-kabi uglerod (DLC) plyonkalari va metall nitridi (yoki karbid) ko'p-elementli ko'p qatlamli plyonkalarni mukammal xususiyatlarga ega tayyorlay oladi.
(3) Maxsus ko'p qatlamli gradient oraliq o'tish qatlami va doping texnologiyasidan foydalanish ichki stressni kamaytiradi, plyonka / substratning yopishishini yaxshilaydi va kino o'sishini osonlashtiradi (qalinligi 6 mm gacha).
(4) Tayyorlangan DLC plyonkasi mukammal keng qamrovli ishlashga ega: qattiqlik > 20 GPa (37,25 GPa gacha), sozlanishi qalinligi (6 mm gacha), plyonka / substrat yopishishi > 50 N (100 N gacha), ishqalanish koeffitsienti < 0,2 va silliq va nozik plyonka.
(5) Ishlab chiqilgan matritsa/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC ko'p qatlamli ko'p qatlamli aşınmaya{2}}bardoshli va issiqlikka chidamli-o'z-o'zidan{4}}moylanadigan qoplama mukammal har tomonlama ishlashga ega: qattiqligi 28,7 mm dan sozlanishi plyonka 4 GPa, qalinligi bog'lanish kuchi 70 N dan yuqori va ishqalanish koeffitsienti 0,2 dan kam.
(6) Ishlab chiqilgan eskirishga chidamli va ishqalanishni-pasaytiruvchi plyonka turli-aniqlikdagi qoliplarga va aniqlikdagi asosiy komponentlarga muvaffaqiyatli qo'llanildi. Ilova natijalari shuni ko'rsatadiki, filmning sirtni mustahkamlash ta'siri sezilarli bo'lib, mahsulot sifati va xizmat muddatini sezilarli darajada yaxshilaydi.
