Vakuumli qoplama mashinasiasosan nisbatan yuqori darajadagi vakuum ostida bajarilishi kerak bo'lgan qoplama turiga ishora qiladi, shu jumladan vakuum ionining bug'lanishi, magnetronning püskürtülmesi, MBE molekulyar nur epitaksisi, PLD lazerli püskürtme cho'kishi va boshqalar. Asosiy g'oya uni ikki turga bo'lishdir: bug'lanish va püskürtme.
Gradient rang jarayoni odatda magnetronli püskürtme qoplama uskunasidan foydalanadi. Hozirgi vaqtda Huawei va Lenovo kabi ko'plab mobil telefon modellarining gradient rangli korpuslari PVD vakuumli gradient qoplama jarayonidan foydalanadi.
Magnetronning püskürtülmesi jismoniy bug 'cho'kishining bir turi (Jismoniy bug'ning cho'kishi, PVD). Umumiy püskürtme usuli metallar, yarim o'tkazgichlar, izolyatorlar va boshqa materiallarni tayyorlash uchun ishlatilishi mumkin va oddiy uskunalar, oson nazorat qilish, katta qoplama maydoni va kuchli yopishish afzalliklariga ega.
1970-yillarda ishlab chiqilgan magnetronli püskürtme usuli yuqori tezlik, past harorat va past shikastlanishga erishdi. Yuqori{2}}tezlikdagi purkash past bosim ostida amalga oshirilganligi sababli gazning ionlanish tezligini samarali oshirish kerak. Magnetronning püskürtülmesi maqsadli katod yuzasiga magnit maydonni kiritadi va chayqalish tezligini oshirish uchun plazma zichligini oshirish uchun zaryadlangan zarralarni cheklash uchun magnit maydondan foydalanadi.
Magnetron püskürtmeli vakuumli qoplama mashinasi mavjud mahsulotlarni vakuum sharoitida qoplash uchun eng ko'p ishlatiladigan uskunadir. To'liq magnetronli püskürtme vakuumli qoplama mashinasi tizimning bir nechta qismlaridan iborat. Yakuniy yuqori sifatli qoplamaga erishish uchun har bir tizim turli funktsiyalarni bajarishi mumkin. Magnitronli püskürtme qoplamasining tarkibiy qismlariga vakuum kamerasi, mexanik nasos, vakuum sinov tizimi, yog 'diffuziya pompasi, vakuum tizimi, kondensatsiya pompasi, plyonka shakllanishini boshqarish tizimi va boshqalar kiradi.
Magnitronli püskürtme vakuumli qoplama mashinasining asosiy tanasi vakuum kamerasidir. Vakuum kamerasining o'lchami qayta ishlangan mahsulotlar bilan belgilanadi. Magnitronli püskürtme qoplamasining o'lchami moslashtirilgan bo'lishi mumkin. Kamera odatda zanglamaydigan po'latdan yasalgan va mustahkam, bardoshli va zangdan xoli bo'lishi talab qilinadi-. Magnitronli püskürtme qoplamali vakuum kamerasida turli xil yordamchi nasoslarni ulash uchun ko'plab ulash vanalari mavjud.
Magnitronli purkash qoplamali plyonka shakllanishini nazorat qilish tizimi qattiq qoplama vaqti, vizual tekshirish, ekstremal monitoring va kristall tebranish monitoringi kabi turli usullarni qo'llashi mumkin. Vakuumli qoplama mashinalari va vakuumli qoplama mashinasini qoplash usullari ham turli jarayonlarga bo'linadi. Ko'pincha ishlatiladigan ion bug'lanish qoplamasi va magnetronli püskürtme qoplamasi. Magnitronli püskürtme bilan qoplangan kino qatlami kuchli yopishqoqlik va yuqori tozalikka ega va bir vaqtning o'zida turli xil kompozitsiyalarga ega bo'lgan turli xil materiallarni püskürtebilir.
