Magnetron purkash qoplama mashinasi

Vakuum kamerasi ichida magnit maydon nurli razryadni cheklash uchun ishlatiladi, bu argon ionlarining maqsadli materialni yuqori tezlikda bombardimon qilishiga sabab bo'ladi, maqsadli atomlar sochilib, zich yupqa plyonka-hosil qilish uchun ishlov beriladigan qism yuzasiga yotqiziladi, bu jarayon jismoniy bug'ning cho'kishi (PVD) deb tasniflanadi.

Uskunaning xususiyatlari

Har xil turdagi püskürtme nishonlari bilan mos keladi
DC, MF va RF magnetronli püskürtme nishonlarini qo'llab-quvvatlaydi, ham metall, ham oksidli keramik nishonlarni joylashtiradi, bu ham metall, ham izolyatsion dielektrik plyonkalarni joylashtirish imkonini beradi.

Substratning aylanishi va aylanish mexanizmi
Ish qismi tokchasida o'choq ichidagi ish qismlarini bir vaqtning o'zida aylanish va aylantirish imkonini beruvchi sayyora aylanish tizimidan foydalaniladi, bu butun o'choq yuki bo'ylab plyonka qalinligining bir xilligini ta'minlaydi va ranglarning o'zgarishini minimallashtiradi.

Past-haroratli ionlarni oldindan tozalash-tizimi
Oʻrnatilgan{0}}ion tozalash manbasi bilan jihozlangan tizim yogʻli ifloslantiruvchi moddalar va oksid qatlamlarini olib tashlash uchun qoplamadan oldin ishlov beriladigan qism yuzasini plazma bilan bombardimon qiladi. Bu substratni minimal isitish bilan-past haroratli plyonkalarni joylashtirish imkonini beradi, bu esa uni kuyish yoki deformatsiyaga olib kelmasdan-ABS va kompyuter kabi issiqlikka sezgir plastmassalarni qayta ishlash uchun mos qiladi.

Mustaqil vakuum birligi konfiguratsiyasi
Turbomolekulyar nasos, Roots nasosi va aylanma qanotli nasosning kombinatsiyasi barqaror nasos egri chizig'ini ta'minlaydi.

To'liq avtomatik PLC sanoat boshqaruv tizimi
Jarayonni avtomatlashtirish, jarayon retseptlarini bir marta bosish bilan saqlash va qayta chaqirish mumkin.

Gaz oqimini aniq nazorat qilish
Argon, kislorod va azot kabi reaktiv gazlarni aniq tartibga solish uchun bir nechta Mass Flow Controllers (MFC) dan foydalanadi, bu esa uni oksid va nitridli kompozit plyonkalarning reaktiv püskürtülmesi uchun mos qiladi.

Xavfsizlik blokirovkasi himoyasi
Kamera eshigi va vakuum tizimi uchun blokirovkalarni, shuningdek, ortiqcha yuklanish, suv tanqisligi va quvvat uzilishidan himoyalanish, maqsadli manba va vakuum tizimini himoya qilish uchun anomaliyalarni aniqlashda avtomatik o'chirishni o'z ichiga oladi.

Dekorativ qoplama
Soat qutilari, hammom jihozlari, golf klubi boshlari, qo'l san'atlari, o'yinchoqlar, avtomobil faralari reflektorlari, uyali telefon yoki maishiy texnika korpuslari va tugmalari. Oltin, toʻq metall qora, ultra{1}}qora va rangli dekorativ qoplamalarni taqlid qilish qobiliyatiga ega, anʼanaviy suvga asoslangan elektrokaplamaga-eko{2}}dos, iflos-muqobil boʻlib xizmat qiladi.

Mos keladigan substratlar: ABS plastmassa, shisha, keramika, plitkalar va turli metallar.

 

Funktsional filmlar
Qolib va ​​asbob-uskunalar: kesish asboblari va qoliplar/qoliblar uchun-eskilikka chidamli himoya qoplamalar

Filmning qalinligi nazorat qilinadi va takrorlanadi.

U oldindan belgilangan qalinlikdagi plyonkani ishonchli tarzda yotqizishi mumkin va püskürtme qoplamasi katta sirtda bir tekis plyonka qalinligini olishi mumkin.

Film substratga kuchli yopishqoqlikka ega.

Ba'zi yuqori energiyali{0}}parchalangan atomlar turli darajadagi in'ektsiya hosil qiladi, ular substratda soxta diffuziya qatlamini hosil qiladi-bu erda püskürtülmüş atomlar va substrat atomlari bir-biri bilan birlashadi.

Maxsus materiallardan yupqa plyonkalarni tayyorlash.

Aralash plyonkalar va aralash plyonkalar bir vaqtning o'zida turli materiallarni sepish orqali tayyorlanishi mumkin. TiN taqlid oltin plyonkalar ham sepilishi mumkin.

Film yuqori tozalikka ega va purkalgan plyonka tigelli isitgich materialining tarkibiy qismlari bilan aralashmaydi.

Past haroratli ion yordamchi manbasi bilan jihozlangan boʻlib, u xona haroratida qizdirmasdan, energiya va elektr energiyasini tejab, ishlab chiqarish quvvatini yaxshilamasdan sovuq qoplama orqali plyonka hosil qilishi mumkin.