Uzluksiz Magnetron Sputtering PVD vakuum qoplama liniyasi

Uzluksiz Magnetron püskürtmeli PVD vakuumli qoplama liniyasi magnetronli püskürtmeye asoslangan, jarayon yuqori{0}}vakuumli muhitda ishlaydi, bunda birlashgan elektr va magnit maydonlar maqsadli materialni bombardimon qilish uchun elektronlarni cheklaydi, bu harakat atomlar yoki molekulalarni nishondan chiqarib yuboradi va ularni harakatlanuvchi substrat yuzasiga joylashtiradi.

DC, MF va RF quvvat manbalari bilan mos keladigan tizim metall plyonkalarni, qotishma plyonkalarni, oksidli dielektrik plyonkalarni va ko'p qatlamli kompozit funktsional plyonkalarni joylashtirishi mumkin.

Vakuum gradientlarini saqlash uchun segmentlangan izolyatsiyaga ega, oziqlantirish, qoplash va tushirish uchun mustaqil zonalarga ega bo'lgan uzluksiz kamera tizimi, shu bilan uzluksiz, uzluksiz ishlab chiqarish imkonini beradi.

Uskunaning xususiyatlari

Uzluksiz ishlab chiqarish vakuumni qayta-qayta buzish zaruratini yo'q qiladi
Segmentli vakuumli qulf-kamera tagliklarni uskunaga uzluksiz tashish imkonini beradi, bu esa partiyani qayta ishlash bilan bog‘liq bo‘lgan changyutgich va ventilyatsiya uchun kutish vaqtlarini yo‘q qiladi va ishlab chiqarish quvvatini sezilarli darajada oshiradi.

Past-haroratli qoplama jarayoni
Substrat haroratining ko'tarilishi nazorat qilinishi mumkin, bu PET, PI, PC va akril kabi issiqlikka sezgir{0}}egiluvchan va plastik substratlarga zarar yetkazilishining oldini oladi. Bundan tashqari, shisha, keramika va metall plitalar tagliklari bilan mos keladi.

Kino qatlami zich va bir xil, kuchli yopishqoqlikka ega
Katta{0}}magnit maydonni optimallashtirish butun substrat bo'ylab plyonka qalinligining bir xilligini ta'minlaydi.

Moslashuvchan maqsadli konfiguratsiya va qoplama materiallarining keng assortimenti

Modulli mashina dizayni, moslashtirishning yuqori darajasi
U mijozning substrat o'lchami, kengligi, ishlab chiqarish quvvati va kino tizimining talablariga muvofiq sozlanishi mumkin.

PLC avtomatizatsiyasini boshqarish
Sensorli ekranli HMI; jarayon parametrlarini saqlash va kuzatish mumkin.

 

Qattiq plastinka: shisha, keramika, kompyuter plitasi

 

Qurilish va maishiy texnika oynalari:

Kam{0}}Energiya-tejamkor oynalar, maishiy texnika panellari, dekorativ oynalar, avtomobil oynalari, HUD optik oynalari

 

Fotovoltaik sanoat: fotovoltaik qopqoq TCO Supero'tkazuvchilar plyonka

 

Maishiy elektronika: sensorli shisha, PC / PMMA dekorativ o'tkazgich plitalari

 

Seramika substrat: DPC seramika mis qoplamasi, keramik plataning metalllashtirilgan qoplamasi

 

Bezatish sanoati: keng maydonli plastinka dekorativ plyonka,-korroziyaga qarshi funktsional plyonka

 

Elektr komponentli keramika va elektron plata keramikasi yuzasiga mis, kumush va boshqa Supero'tkazuvchilar materiallarni vakuum bilan qoplash.

 

Shuningdek, u turli xil metall plyonka qatlamlarini vakuum bilan boshqa plastinka-masalan, ish qismlari (shisha, akril taxta va boshqalar) yuzasiga joylashtirish uchun javob beradi;

Magnit maydon plazmani cheklaydi

Bu magnetron purkashning asosiy xususiyati. Maqsadli sirt yaqinida ma'lum bir shakldagi (odatda halqa yoki poyga yo'li shakli) kuchli magnit maydonini qo'llash orqali elektronlar spiral harakatni amalga oshirish uchun maqsad yuzasiga yaqin joylashgan bo'lib, bu elektronlarning ishchi gaz (odatda argon) atomlari bilan to'qnashuvi va ionlashuvi ehtimolini sezilarli darajada oshiradi.

Yuqori ionlanish darajasi va yuqori cho'kish tezligi

Magnit maydonning chegaralanishi plazma zichligi va ionlanish tezligini sezilarli darajada oshiradi, bu esa püskürtme jarayonini samaraliroq qiladi.

Bu shuni anglatadiki, nisbatan past gaz bosimi va past püskürtme zo'riqishida/quvvatida an'anaviy doimiy to'lqinli oqimga qaraganda ancha yuqori püskürtme va cho'kish tezligiga erishish mumkin.

Past haroratli jarayon

Energiyaning katta qismi gazni ionlashtirish va maqsadli atomlarni purkash uchun sarflanganligi sababli, substratga nisbatan kamroq issiqlik o'tkaziladi.

Yaxshi kino sifati

Yaxshi zichlik, kuchli yopishqoqlik, yuqori tozalik va yaxshi bir xillik.

Materiallarga moslashishning keng doirasi

Jarayonni yaxshi boshqarish

Magnitronli purkagich qoplamasi ishlab chiqarish liniyasi zamonaviy sanoatda yuqori haroratli depozit tezligi, yuqori haroratli depozit tezligi, plyonkaning yuqori xususiyatlari va afzalliklari tufayli funktsional yupqa qatlamlarni (masalan, optik plyonkalar, o'tkazuvchan plyonkalar, aşınmaya bardoshli qattiq plyonkalar, dekorativ plyonkalar, korroziyaga qarshi plyonkalar, magnit plyonkalar, yarimo'tkazgich plyonkalar va boshqalar) tayyorlashning asosiy texnologiyalaridan biriga aylandi. sifat (ixcham, kuchli yopishish), keng materialga moslashish, yaxshi bir xillik va nazorat qilish.