Vakuum qoplama mashinasi asosan vakuum, shu jumladan vakuum, shu jumladan vakuum bug'lanishi, magnitron terisi, molekulyar yoriq epitaxi, plderning pliter epitaxi, boshqa ko'plab turlar. Uning asosiy g'oyasi bug'lanish va siqilishga bo'linadi.
Vakuum qoplama mashinasining ish muhiti talablari:
Vakuum qoplamalari vakuum sharoitida ishlashi kerak, shuning uchun jihoz atrof-muhit uchun vakuum talablariga javob berishi kerak. Atrof muhit uchun vakuumning talablari atrof-muhitga (yoki ustaxona) uskunasi, havo va boshqa zarracha moddalar uchun vakuum uskunalari, vakuum yoki vakuumning qismlari yoki yuzaga qo'yiladigan talablar.
Bu ikki jihatlar chambarchas bog'liq. Atrof muhiti vakuum uskunalaridan normal foydalanishga bevosita ta'sir qiladi; vakuum kamerasi yoki vakuum uskunalariga o'rnatilgan qismlar toza bo'lib, ular to'g'ridan-to'g'ri uskunaning ishlashiga bevosita ta'sir qiladimi. Agar havodagi suv bug'lari va chang bo'lsa, vakuum kamerasini tozalamasdan, - moyi bilan kutilayotgan vakuum darajasiga erishish qiyin. Ma'lumki, moyli - muhrlangan mexanik nasoslar metallar uchun korroziyali va vakuum moyiga reaktiv bo'lgan zarralarni ichiga solmasligi kerak. Suv bug'lari maqbul gaz. Katta miqdordagi kondensatsion gaz chiqarilsa, nasos yog'ining ifloslanishi yanada jiddiy bo'ladi. Shuning uchun nasosning eng yuqori vakuumi kamayadi va nasosning nasos chiqishi buziladi.
Sanoat muhitidagi chang chang jismlari, unsiz ko'zlar va chang bilan ajralib turadi. Kukun chang yoki qattiq zarralarni ko'paytirish yoki tarqatish holatida moddadir. Shunday qilib - kukunli qora zarralar to'plamini anglatadi va zarrachalar birma-bir hisoblash mumkin bo'lgan mayda moddalarga tegishli. Tutun - bu suzuvchi holatda qattiq yoki suyuqlikning mayda zarralari mavjud bo'lgan moddiy tizim mavjud. Qattiq yoki suyuqlik, granulali holatdagi moddalar bir-biriga qarshi chang zarralari deb nomlanadi. Havoning tozaligi chang zarralari hajmi bilan belgilanadi, shu bilan toza xonani belgilaydi. Bu nafaqat sanoat tarmoqlari toza talablar bilan, balki toza muhit uchun vakuum talablariga ham tegishli.
