1. Vakuum qoplama mashinasining asosiy tuzilishi
Vakuum qoplama mashinasi - bu vakuum atrofidagi fizik yoki kimyoviy usullar bo'yicha substrat er yuzasida yupqa plyonka birikadigan qurilma. Uning asosiy tuzilishi quyidagi qismlarni o'z ichiga oladi:
1. Vakuum tizimi: u 10⁻³ ~ 10 pa ("vakuumli qoplamali qo'llanmaga qarang", deb hisoblanadi. Masalan, mexanik nasos 1 ~ 10 pagi bosimni kamaytirishi mumkin va molekulyar nasos uni yana 10 ⁻⁴ gacha kamaytirishi mumkin.
2 Kichik laboratoriyalar uchun 0,5 m³ dan 5 m³ gacha bo'lgan kichik laboratoriyalar uchun (Ulvac Arl-300 modeli kabi).
3 Masalan, Elektron nur bug'lanish manbai 10 kVtga yetishi mumkin va bug'lanish darajasi 1 ~ 5 nm / s ni tashkil qiladi.
2. Qo'llaydigan mashinalarning turli xil turlari tarkibidagi farqlar
1. Jismoniy bug 'tushirilishi (PVD) uskunalari:
- MagneTon ustki qoplama mashinalarida maqsadli materiallar (masalan, titan maqsadlari, alyuminiy maqsadlar) va magnit maydon tizimlari bilan jihozlangan bo'lishi kerak va ish gaz bosimi odatda 0,1 ~ 10 pa.
-} ARC iON qoplama mashinalari ARC manbalarini qo'shish, joriy 100 ~ 200 a bilan 3 ga yetishi mumkin va kinoali yopishtirish kuchliroq.
2. Kimyoviy bug 'tushirilishi (CVD) uskunalari:
- reaktiv gazlar (masalan, Sih₄, Ch₄ kabi) joriy etish kerak va gaz oqimini boshqarish tizimi ± 1 SCCM (standart mililiterlar / minut) aniqligi bilan jihozlangan.
3. yordamchi tizimlar va texnik texnik parametrlar
1
2
IV. Ariza stsenariylari va tanlov tavsiyalari
1. Optik qoplama: yuqori bir xillikni talab qiladi (± 1% qalinlikning og'ishi) va ko'p {{2} etma}} emolni yumshatish manbaini tanlash kerak.
2. Asbob qoplamalari: qattiqlikka e'tibor qaratadi (masalan, qoplama 2000 HV ga yaqin bo'lishi mumkin) va ARC ion uskunalari afzal ko'riladi.
Yuqoridagi tahlil orqali foydalanuvchilar haqiqiy ehtiyojlar va konfiguratsiyani haqiqiy ehtiyojlarga muvofiq tanlashlari mumkin (masalan, film spektaklotasi, ishlab chiqarish samaradorligi kabi).
